众晶硅出产中氯硅烷中HCL理解措施2019-09-18
可选中1个或多个下面的关键词,搜索相关资料。也可直接点搜索资料搜索整个问题。 展开全部露主是在问合成氯硅烷中的HCL测定吧?一般合成氯硅烷测定,使用气相色谱来检测除H2以外
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展开全部露主是在问合成氯硅烷中的HCL测定吧?一般合成氯硅烷测定,使用气相色谱来检测除H2以外的组分的。包括氯硅烷中的HCL(其他还有TCS、STC、DCS)。
在检测时候使用的是双载气色谱仪,分别是N2载气和H2载气,N2载气是用来检测H2的。
如果要高到ppb级别,可以考虑使用icp-ms,经过计算可以得到更精确的数据。
顺带一句,一般多晶硅厂不会对合成氯硅烷使用icp-ms一类精密仪器的,杂质会轻易损坏仪器。