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　　展开全部露主是在问合成氯硅烷中的HCL测定吧？一般合成氯硅烷测定，使用气相色谱来检测除H2以外的组分的。包括氯硅烷中的HCL（其他还有TCS、STC、DCS）。

　　在检测时候使用的是双载气色谱仪，分别是N2载气和H2载气，N2载气是用来检测H2的。

　　如果要高到ppb级别，可以考虑使用icp-ms，经过计算可以得到更精确的数据。

　　顺带一句，一般多晶硅厂不会对合成氯硅烷使用icp-ms一类精密仪器的，杂质会轻易损坏仪器。