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众晶硅出产中氯硅烷中HCL理解措施??

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众晶硅出产中氯硅烷中HCL理解措施??

  展开全部露主是在问合成氯硅烷中的HCL测定吧?一般合成氯硅烷测定,使用气相色谱来检测除H2以外的组分的。包括氯硅烷中的HCL(其他还有TCS、STC、DCS)。

  在检测时候使用的是双载气色谱仪,分别是N2载气和H2载气,N2载气是用来检测H2的。

  如果要高到ppb级别,可以考虑使用icp-ms,经过计算可以得到更精确的数据。

  顺带一句,一般多晶硅厂不会对合成氯硅烷使用icp-ms一类精密仪器的,杂质会轻易损坏仪器。